Hvað er ljóslitafræði?
Ljósmyndafræði er eitt af mikilvægu ferlunum við framleiðslu samþættra rafrása (ICs eða flísar). Segðu einfaldlega, það er ferlið við að afrita hringrásarmynstur á undirlag með því að nota photomask og photoresist.
Undirlagið verður málað á kísildíoxíð einangrunarlag og photoresist. Ljósþolið er auðvelt að leysa upp með framkallaefni eftir að hafa verið útsett fyrir UV-ljósi, eftir leysi og ætingu verður hringrásarmynstrið eftir á undirlaginu.
Hvað er Photoresist? Af hverju verður 500nm UV bylgjulengd að loka fyrir?
Photoresist er blandað saman við kvoða, leysiefni og aukefni. Ljósnæmt svið ljósviðnáms er 200nm-500nm. Þess vegna munu margar hálfleiðara rannsóknarstofur samþykkja gult ljós sem hindrar 500nm UV bylgjulengd til að koma í veg fyrir ofljósa eða ótímabæra lýsingu á ljósþolnum.
